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智能型HMDS涂膠機,自動HMDS涂膠鍍膜機
智能型HMDS涂膠機,自動HMDS涂膠鍍膜機

智能型HMDS涂膠機,自動HMDS涂膠鍍膜機也稱為HMDS處理,是用于使晶片表面呈疏水性的處理。

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HMDS涂膠機,智能型HMDS涂 膠機
HMDS涂膠機,智能型HMDS涂 膠機

HMDS涂膠機,智能型HMDS涂 膠機將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。

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光刻工藝HMDS鍍膜機,MOS器件HMDS鍍膜 機
光刻工藝HMDS鍍膜機,MOS器件HMDS鍍膜 機

光刻工藝HMDS鍍膜機,MOS器件HMDS鍍膜 機涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關鍵步驟。

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抗粘劑蒸鍍機,抗粘層鍍膜機
抗粘劑蒸鍍機,抗粘層鍍膜機

抗粘劑蒸鍍機,抗粘層鍍膜機在基片與彈性支撐層之間還形成有抗黏層,抗黏層一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。

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HMDS涂布機,HMDS涂膠烤箱 工業烘箱
HMDS涂布機,HMDS涂膠烤箱 工業烘箱

HMDS涂布機,HMDS涂膠烤箱用于光刻工藝中基板疏水化處理, HMDS 涂布的原理,較常用的黏附劑是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻膠的黏附性工藝中,實際上六甲基二硅烷并不是作為粘結劑所產生作用的,而是HMDS 改變了 SiO2 的界面結構,從而使晶圓的性質由親水性表面轉變為疏水性表面。

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HMDS鍍膜機設備
HMDS鍍膜機設備

HMDS鍍膜機設備。整個系統采用優質醫用級316L不銹鋼材料制作,無發塵材料,適用百級光刻間凈化環境。

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HMDS涂膠系統,HMDS涂膠烤箱
HMDS涂膠系統,HMDS涂膠烤箱

HMDS涂膠系統,HMDS涂膠烤箱通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、液晶面板、顯示器、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關行業。

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