產品中心您的位置:網站首頁 > 產品中心 > 半導體烘烤設備 > 潔凈烤箱 > 堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱 工業烘箱
堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱 工業烘箱

堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱 工業烘箱

簡要描述:

堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱

   堅膜烘箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱技術性能:     

溫度范圍:RT~250℃;
均勻度:±2%℃;    

溫度波動度:±0.5℃(空載)        
溫控精度:±0.1℃;   

潔凈度:Class100; 

計時范圍:99H99M;   

氣體氛圍:N2;

內部尺寸(mm):

450×450×450

500×500×550

600×700×800(可定制)        
電源:380v , 50Hz   

網板:2-4只(高度可調節)

可擴展功能:

雙腔體或多腔體

智能聯網功能,MES等工業自動化軟件

掃碼槍,掃碼溯源,一鍵讀取

自動門控,上位機程控,機械手搬運產品



  堅膜烘箱也可用于半導體制造中硅片、砷化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

上海雋思實驗儀器有限公司主要經營優質的堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱 工業烘箱等,歡迎來電咨詢堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱 工業烘箱詳細資料等信息
地址:上海奉賢柘林工業區3213號
国产97色在线 | 国|2020国产精品香蕉在线观看|亚洲午夜久久久影院伊人|人妖专区免费视频精品