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HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱
HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱

HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱可快速、均勻、經濟高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對晶圓表面進行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。

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HMDS烘箱  圖像反轉系統 HMDS涂膠機
HMDS烘箱 圖像反轉系統 HMDS涂膠機

HMDS烘箱 圖像反轉系統 HMDS涂膠機使用HMDS(六甲基二硅氮烷)對晶圓表面進行快速、均勻、經濟高效的涂布,以提高光刻膠的附著力。這些多功能系統還支持圖像反轉,形成具有與正光刻膠相同的分辨率和易用性的負圖像。

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光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱
光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱

光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應用多晶硅,石英,太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。

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HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統無油泵
HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統無油泵

HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統無油泵較小的噪音 - 一臺干泵卻擁有較好的真空度,較大的抽速 - 停機時間短,維護成本更低

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HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱
HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱是涂膠前對硅片表面進行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使襯底表面從親水性轉化為疏水性

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光伏電池片HMDS處理系統,HMDS預處理烘箱
光伏電池片HMDS處理系統,HMDS預處理烘箱

光伏電池片HMDS處理系統,HMDS預處理烘箱就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結合良好。未經過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。

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HMDS烘箱,太陽能電池片HMDS烘箱
HMDS烘箱,太陽能電池片HMDS烘箱

HMDS烘箱,太陽能電池片HMDS烘箱適用行業:MEMS、太陽能、電池片、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。

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